衍射光学元件
概述
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示),主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
2 扩展释义
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示),主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
9 词语组词
相关词条
本词条最后更新于 2026-07-15 22:35:41