衍射光学元件

概述

衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示),主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。

2 扩展释义

衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示),主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。

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本词条最后更新于 2026-07-15 22:35:41