离子鞘
概述
等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法，负偏压和气体压强的大小影响了离子鞘的厚度。
2 扩展释义
等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法，负偏压和气体压强的大小影响了离子鞘的厚度。
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本词条最后更新于 2026-07-10 14:41:45
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