平面度
概述
平面度是指基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差。平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标，用来控制被测实际平面的形状误差。
2 扩展释义
平面度是指基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差。平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标，用来控制被测实际平面的形状误差。
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本词条最后更新于 2026-07-13 19:44:43
平面度是指基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差。平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标，用来控制被测实际平面的形状误差。
平面度是指基片具有的宏观回凸高度相对理想平面的偏差。平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标，用来控制被测实际平面的形状误差。
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