离子束外延

概述

离子束外延是在真空环境中，用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。

2 扩展释义

离子束外延是在真空环境中，用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。

9 词语组词

离字组词 子字组词 束字组词 外字组词 延字组词

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本词条最后更新于 2026-07-10 15:18:38

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