曝光区域

概述

在光刻工艺中，光刻机单次实现曝光所能支持的最大区域范围为曝光区域。

2 扩展释义

在光刻工艺中，光刻机单次实现曝光所能支持的最大区域范围为曝光区域。

9 词语组词

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本词条最后更新于 2026-07-15 20:02:50

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