放射率
概述
放射率，晶圆在快速热处理炉内的晶圆有效放射率为目的，考虑中山科学研究院正在发展中的快速热处理机台腔体内的热传，本文以蒙地卡罗法（MCM）计算加热灯、腔体及晶圆之间的热辐射交换，其结果再结合晶圆有效放射率之定义，以求得快速热处理过程中晶圆有效放射率随晶圆径向位置之分布，然後以相关文献及有效放射率的定义加以分析、探讨。
2 扩展释义
放射率，晶圆在快速热处理炉内的晶圆有效放射率为目的，考虑中山科学研究院正在发展中的快速热处理机台腔体内的热传，本文以蒙地卡罗法（MCM）计算加热灯、腔体及晶圆之间的热辐射交换，其结果再结合晶圆有效放射率之定义，以求得快速热处理过程中晶圆有效放射率随晶圆径向位置之分布，然後以相关文献及有效放射率的定义加以分析、探讨。
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本词条最后更新于 2026-07-16 15:14:37
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