坚膜
概述
坚膜是一个热处理过程,即在一定的温度下,对显影后的晶圆片进行烘焙。
2 扩展释义
坚膜是一个热处理过程,即在一定的温度下,对显影后的晶圆片进行烘焙。
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本词条最后更新于 2026-07-12 14:30:15
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