异质外延
概述
外延生长的薄膜材料和衬底材料不同,或者说生长化学组分、甚至是物理结构和衬底完全不同的外延层,相应的工艺就叫做异质外延;这类工艺复杂、成本较低 这种方法在晶体生长中应用的比较多,能够改善晶体的生长,可以用来形成自然界中没有的人工结构材料。 在半导体应用中,异质外延材料的选择是根据其能带间隙和晶格匹配来决定的。对于光学应用,还需要考虑光子跃迁方式。
2 扩展释义
外延生长的薄膜材料和衬底材料不同,或者说生长化学组分、甚至是物理结构和衬底完全不同的外延层,相应的工艺就叫做异质外延;这类工艺复杂、成本较低 这种方法在晶体生长中应用的比较多,能够改善晶体的生长,可以用来形成自然界中没有的人工结构材料。 在半导体应用中,异质外延材料的选择是根据其能带间隙和晶格匹配来决定的。对于光学应用,还需要考虑光子跃迁方式。
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本词条最后更新于 2026-07-10 21:58:19
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