粗抽泵
概述
从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗抽泵。
2 扩展释义
从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗抽泵。
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本词条最后更新于 2026-07-12 04:49:10
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