印微
概述
新的SCIL（基板完整压印微影）技术是用于亚50奈米图形制造的技术，它运用于小尺寸高解析度硬质印模和解析度低于200nm的大面积软质印模之间的优势互补。
2 扩展释义
新的SCIL（基板完整压印微影）技术是用于亚50奈米图形制造的技术，它运用于小尺寸高解析度硬质印模和解析度低于200nm的大面积软质印模之间的优势互补。
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本词条最后更新于 2026-07-11 17:07:04
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